| Wātea: | |
|---|---|
| Rahi: | |
Whakaahuatanga Hua
Ko te Ultra High Vacuum Box he mea tino nui, he mea tino hangai i hangaia mo nga punaha whakarite kararehe pepa hou . He mea whakarite ki te whakatutuki i nga hiahia o te hanga pepa o naianei, ka whai waahi nui tenei waahanga ki te arotau i nga mahi whakaheke wai i te wa ano e akiaki ana i nga whakapainga nui o te kaha o te kaha. Mo nga mira pepa e whai ana ki te whakapai ake i o raatau raina whakaputa, he mea nui te whakauru i te punaha korehau tino pai mo te pupuri i nga taumata makuku tino pai, te whakarite kia tika te hanganga o te paetukutuku pepa, me te pupuri i nga utu whakahaere.
Kei te ngakau o tenei taputapu ko tana miihini mata tino whakahaere. Kei roto i te pouaka korehau nga pepa konumohe tino tika e hangaia ana kia eke ai te taratara o te mata ki raro rawa o Ra0.1 . Ko tenei tino maeneene, he rite ki te whakaata he whakaritenga hangarau matua mo te mahi pumau. Ma te whakaiti i te waku o te mata, ka whakarite nga awhi uku kia rere pai nga papanga hanga ki runga i te pouaka, ka whakaiti i te toia me te kawenga hiko ki runga i nga punaha taraiwa. Mo nga whakaurunga e turaki ana i nga rohe o te whakaputa me te hiahia kia kaha ake te roa, kei kona ano te huarahi pai mo te whakamahi i nga pepa karamiki ABM-SiN . Ko enei waahanga silicon nitride motuhake e tuku ana i nga mahi pai ake, e tuku ana i te aukati kakahu teitei me te pumau o te waiariki i raro i nga huringa whakahaere mahi taumaha.
Ko tetahi atu ahuatanga nui o te Pouaka Korehau Ultra High ko tana punaha hiri i te taha ka taea te whakarite me te whakahinuhinu wai. Ko tenei tikanga auaha e mahi ana i nga kaupapa e rua i roto i te waahanga hanga o te miihini pepa. Tuatahi, ka tino whakaitihia te kohi hiko hiko ma te aukati i te rerenga o te hau koretake ki nga taha, me te whakarite kia noho te pehanga korehau ki te waahi e hiahiatia ana mo te pai o te whakamakuku. Tuarua, ko te ahua whakahinuhinu wai o te hiri ka tino whakaiti i te kakahu miihini me te haehae i nga waea hanga utu nui. Ma te whakaheke i te whakarea waku i nga waahi hiri, ka taea e nga kaihanga pepa te whakaroa i te roanga o o ratou kakahu miihini, na reira ka whakaheke i nga utu whakakapinga me te whakaiti i te waa tiaki ohorere.
I te wa e tipu haere ana te ahumahi pepa, ka piki haere tonu nga tere whakaputa, me te tono taputapu ka taea te haere tonu me te kore e whakararu i te pumau o te whakaputanga. Ko te Ultra High Vacuum Box he mea whakarite motuhake ki te whakatutuki i nga tawhā miihini pepa rereke, e tino pai ana mo nga miihini pepa tere. I hangaia kia pono te mahi ahakoa i roto i nga punaha whakahaere i nga tere neke atu i te 3000 m/min . I enei tino tere, he mea nui te pupuri i te pehanga korehau me te reiti whakamaoritanga pumau hei aukati i nga pakaru tukutuku me te whakarite kia rite te hanga pepa. Ko te hanga roa me te miihini tika o tenei pouaka korehau e tohu ana i te mahi tonu, ka taea e nga mira pepa te whakanui ake i o raatau whakaputanga me te pupuri i te tere tere kaore he pounamu.
Ko te haumi i roto i tenei waahanga whakaheke wai ka huri tika ki nga painga whakahaere ka taea te ine. Na roto i te whakakotahi i nga papa kirikiri tino maeneene, te hiri whakahinuhinu mohio ki te wai, me nga kaha whakahaere tere, ka tukuna e nga taputapu he otinga matawhānui mo nga mira pepa hou. Ka awhina i nga kaiwhakahaere o te whare me nga roopu hoko ki te whakatutuki i nga wero nui o te whakahaere: te whakaheke i te whakapaunga hiko, te whakaroa i te oranga o nga taonga pau penei i te hanga waea, me te whakapumau i te kounga o te pepa ki te tere o te whakaputa. Na tenei ka waiho te Pouaka Korehau Ultra High hei taapiri rautaki mo tetahi whare e aro ana ki te whai hua mo te wa roa me te whakaheke i te utu katoa o te mana pupuri.
Hua Painga
Ko te haumi i roto i te Ultra High Vacuum Box e whakarato ana i nga taputapu hanga pepa me te tino whakataetae. I hangaia mo nga miihini pepa tere-tere hou, i hangaia tenei waahanga ki te arotau i te mahi whakaheke wai i te wa e tino whakahaere ana i nga utu whakahaere. Ma te aro ki te mauroa o nga rawa me nga hanganga hanganga, ka tukuna e to maatau pouaka korehau nga painga ka kitea mo te penapena hiko, te whakaheke i te tiaki, me te whakapumautanga o te whakaputanga. Kei raro nei nga tino painga e pai ai tenei taputapu ki te whakapai ake mo to raina whakaputa pepa.
Hoahoa Tika : Ko nga pepa karamu me nga papanga maamaa-nui ka whakarite kia pai te tango wai me te mahi pumau. He mea tino nui tenei mahi miihini mo te pupuri i te ahua o te ahua o te whakamaoritanga wai i te whanuitanga katoa o te paetukutuku pepa, hei aukati i te pakaru o nga pepa me nga rereketanga o te kounga o te pepa. I tua atu, ko nga papa whakapiri kua whakakoihia ki te whakaiti i te waku ki te iti rawa, kia mau ai te mahi ahakoa i raro i nga huringa whakangao tonu. Ko tenei taumata o te tino tika o te hanganga ka whakamaoritia ki te pai ake o te hanga pepa me te mahi whakangao pono ake.
Pūngao Pungao : Ko te hiri whakahinuhinu-wai ka taea te whakarite ka whakaiti i te whakapaunga hiko korehau me nga utu whakahaere. Ko nga punaha korehau he maha nga waahanga nui o te whakapaunga hiko o te mira pepa. Ko ta maatau hangarau hiri ka taea te whakaiti i te rerenga o te hau, me te whakarite kia whakamahia katoatia te pehanga korehau mo te whakamakuku, kaua ki te ngaro ki te taiao. Ko te mutunga mai, kua tino heke iho te taumahatanga o nga mahi i runga i o papua. I te wa o te wa, ko enei penapena hiko ka tino whakaheke i nga utu whakahaere katoa, ka tere te hokinga mai o te haumi.
Maamaa Whakaroa : Ka whakaiti i te kakahu i runga i te hanga waea, ka nui ake te oranga o te ratonga. Ko te hanga waea he mea tino nui, he utu nui hoki mo te hanga pepa. He mihi ki te hoahoa hydrodynamic papai me te whakarea waku ultra-iti o nga mata uku, ka tino whakaitihia nga kakahu miihini me nga roimata i runga i nga papanga hanga. Ko tenei whakahaere ngawari ka tino whakawhānui i te huringa whakakapi o nga papanga. Mo nga kaihanga pepa, ko te tikanga he iti ake nga katinga tiaki kua whakaritea, kua piki ake te wa mahi miihini, me te hekenga o te tahua a-tau kua tohatohahia mo nga waahanga whakakapi.
Te Hototahi Tere-Teitei : Ka tautokohia nga tere miihini i runga ake i te 3000 m / min me nga pepa karaera ABM-SiN mo te tino pono. Ko te hanga pepa o naianei e hiahia ana ki nga taputapu ka taea te haere tonu me te tere o te miihini me te kore e whakararu i te pumau. Ko tenei mahi tino pai ka taea e te whakauru o nga waahanga utu nui Silicon Nitride (ABM-SiN). Ko enei taonga motuhake e tuku ana i te kaha miihini me te tika o te hanganga, me te whakarite kia mau tonu te pouaka korehau me te mahi ahakoa i raro i nga mana hihiri i hangaia i roto i nga mahi ultra-tiketike-tere, ka taea e nga mira te turaki i nga rohe whakangao.
Whakaritea : Ka taea te urutau ki nga tawhā miihini pepa rereke, e whakarato ana i nga otinga mo nga hiahia whakaputa rereke. I runga i te mohio kaore e rua nga raina hanga pepa e riterite ana, ka taea e tenei pouaka korehau te urutau kia rite ki nga whanui miihini motuhake, nga tere whakahaere, nga taumata korehau, me nga tohu pepa. Ahakoa kei te whakapai ake koe i tetahi miihini tawhito o mua, kei te whakakakahu ranei koe i tetahi whare hou, ko ta maatau huarahi kua whakaritea kia pai te whakakotahitanga. Ma tenei ka whakarite kia tika nga taputapu ki o whainga whakangao, te whakanui ake i te pai o te whakaheke wai me te hototahi ki to taiao hangahanga ahurei.
Rauemi Arā Atu Anō : Ko nga karaehe mahi teitei e whakarite ana i te awangawanga o te wiariki, te kapiti, me te mauroa roa. Ko te roa o nga taputapu whakaheke wai ka whakawhirinaki ki ona rawa hanga. Ka whakamahia e matou nga karamu hangarau tino mahi kua tohua mo o raatau ahuatanga tino pai. Ko enei rawa he tino whakararu i te awangawanga waiariki, ka taea e nga waahanga te tu i nga rereketanga o te pāmahana ohorere me te kore e whakaheke. Hei taapiri, ko nga ahuatanga anti-cracking ka mau tonu te hanganga o nga pepa ki te pupuri i nga tau o te whakamahi taumaha, ka tino whakahekehia te tupono o nga ngoikoretanga o nga taputapu ohorere me te whakaiti i nga whakaritenga tiaki mo te wa roa.
Ma te whakauru i enei painga matua e ono, ka tu te Pouaka Korehau Ultra High hei otinga tino whai hua mo nga mira pepa hou e aro ana ki te arotau i o raatau waahanga whakaheke wai. Ehara i te mea ka whakanui noa i te mahi hangarau o te miihini pepa engari ka tukuna ano e ia nga hua ohaoha nui na roto i te whakahekenga o te whakapaunga hiko, te whakahekenga o nga utu tiaki, me te piki haere o te mahi whakaputa.
Tawhā Hangarau
Te ihirangi konumohe |
95% |
99% |
Al2O3(%) |
≥95 |
≥99 |
Kiato(g/cm3) |
≥3.70 |
≥3.85 |
Te horomitanga(%) |
<0.1<> |
<0.1<> |
Te kaha piko(MPa) |
>250 |
>300 |
Te Waariki (W/m· k) |
20-24 |
28-30 |
Whakarea Roha Weariki(×10-6/K) |
7.6-8 |
8-8.4 |
Te whakamahi i te pāmahana teitei (°C) |
1400 |
1600 |
Taarua DielectricΣ(1MHZ) |
8-9 |
9-10 |